• 产品名称：冷却水管路组件（Cooling Water Line Assembly）
• 产品简介：是应用材料半导体设备中用于输送冷却介质的部件，由不锈钢管路、接头、阀门等组成，负责将冷却介质输送至设备的发热部件，如反应腔、射频电源等，实现部件的降温，适配特定型号的半导体工艺设备的冷却系统，保障设备的正常运行温度。
• 技术规格
  • 管路材质：316L 不锈钢，内壁光滑，粗糙度小于 0.05μm，减少冷却介质流动阻力。
  • 管路直径：3/8 英寸，适配设备冷却系统的流量需求。
  • 工作压力：0-10bar，可承受冷却系统的压力。
  • 适配冷却介质：去离子水、乙二醇水溶液等，耐温范围 - 20℃ - 150℃。
• 功能特点
  • 采用优质不锈钢材质，具备优良的耐腐蚀性能，可长期在冷却介质中稳定工作。
  • 管路连接采用密封性能优良的接头，泄漏率小于 1×10^-8 mbar・L/s，保障冷却介质不泄漏。
  • 管路布局合理，减少弯曲，降低流动阻力，提高冷却效率。
  • 配备流量监测装置，可实时监测冷却介质的流量，当流量异常时，及时发出报警信号。
• 应用场景：应用于应用材料的各类半导体工艺设备中，如刻蚀设备、CVD 设备、PVD 设备等，为设备的发热部件提供冷却，保障设备在正常温度范围内运行，延长设备部件的使用寿命。