• 产品名称：静电卡盘电源（Electrostatic Chuck Power Supply）
• 产品简介：是应用材料半导体设备中为静电卡盘提供静电吸附电压的专用电源部件，可精准输出静电吸附所需的直流高压，保障静电卡盘对晶圆的稳定吸附，适配特定型号的静电卡盘，保障晶圆在工艺过程中的位置稳定。
• 技术规格
  • 输出电压：0-2000V DC，连续可调，适配不同静电卡盘的吸附需求。
  • 输出电流：0-5mA，具备恒压、恒流两种工作模式。
  • 电压调节精度：±0.5% FS，保障吸附电压的精准性。
  • 纹波系数：小于 0.1%，减少电压波动对吸附效果的影响。
  • 工作温度：0-50℃，适配设备的工作环境。
• 功能特点
  • 具备快速电压切换能力，切换时间小于 100ms，适配晶圆传送过程中的吸附与释放需求。
  • 内置过压、过流、短路保护模块，当出现异常时，快速切断输出，保护静电卡盘与电源本身。
  • 支持远程控制，可通过设备控制系统实现电压的远程调节与状态监测。
  • 具备电压、电流实时监测功能，便于操作人员监控电源工作状态。
• 应用场景：主要应用于应用材料的刻蚀设备、CVD 设备等半导体工艺设备的静电卡盘中，在晶圆的刻蚀、薄膜沉积等工艺过程中，为静电卡盘提供稳定的静电吸附电压，保障晶圆的位置稳定。