• 产品名称：直流电机驱动器（DC Motor Driver）
• 产品简介：是应用材料半导体设备中用于驱动直流电机的核心控制部件，可精准控制直流电机的转速、扭矩与转向，适配特定型号的直流电机，保障设备中传送、定位等运动部件的稳定运行，适配半导体设备的高精度运动控制需求。
• 技术规格
  • 适配电机功率：0-5kW，适配设备中各类中小型直流电机。
  • 输出电压：0-480V DC，连续可调，适配不同电机的电压需求。
  • 输出电流：0-20A，具备恒速、恒扭矩两种控制模式。
  • 控制精度：转速控制精度 ±0.1%，扭矩控制精度 ±0.5%。
  • 通信接口：RS485，可与设备控制系统实时交互数据。
• 功能特点
  • 具备快速响应能力，转速调节响应时间小于 50ms，适配设备的高精度运动控制需求。
  • 内置过压、过流、过温、短路等多种保护功能，全面保护电机与驱动器本身。
  • 支持位置闭环控制，可通过外接编码器实现电机的精准定位控制。
  • 具备参数存储功能，可存储多组控制参数，适配不同的运动控制场景。
• 应用场景：应用于应用材料的晶圆传送机械臂、晶圆承载台驱动、阀门驱动等部件中，控制直流电机的运行，保障设备运动部件的精准、稳定运行，适配刻蚀、CVD、PVD 等各类半导体工艺设备。