• 产品名称：设备数据采集模块（Data Acquisition Module）
• 产品简介：是应用材料半导体设备中的数据处理核心部件，用于采集设备各传感器的温度、压力、流量等工艺参数信号，进行处理与转换后传输至控制系统，适配特定型号的半导体设备，保障工艺参数监测的精准性与实时性。
• 技术规格
  • 采集通道：32 路模拟输入，16 路数字输入，满足设备多参数采集需求。
  • 模拟输入信号：0-10V、4-20mA，适配多种传感器输出信号。
  • 采样率：100Hz，保障数据采集的实时性。
  • 转换精度：16 位，数据处理精度高。
  • 工作电压：直流 24V，功耗小于 5W。
• 功能特点
  • 具备多通道同步采集功能，保障各参数数据的同步性。
  • 采用高精度 A/D 转换器，数据转换误差小于 0.1%，保障数据精准。
  • 具备数据缓存功能，可存储 1000 组历史数据，便于工艺追溯。
  • 支持以太网通信，可与设备控制系统实时交互数据。
• 应用场景：应用于应用材料的各类半导体工艺设备，如 CVD、刻蚀、RTP 设备等，采集工艺过程中的温度、压力、流量等参数，为工艺控制与质量分析提供可靠数据。