• 产品名称：气动控制阀组件（Pneumatic Control Valve Assembly）
• 产品简介：是应用材料半导体设备气体与流体管路的关键控制部件，采用气动驱动方式，精准控制管路中介质的通断与流量，适配特定型号的管路系统，保障介质输送的稳定与精准，适配半导体设备的各类工艺管路。
• 技术规格
  • 驱动方式：单作用气动驱动，工作压力 0.4-0.8MPa。
  • 适配介质：工艺气体、冷却剂等，适配多种半导体设备介质。
  • 阀门类型：截止阀，口径 1/2 英寸，适配设备管路尺寸。
  • 动作时间：开启小于 1s，关闭小于 0.8s，响应迅速。
  • 工作温度：-20℃ - 80℃，适配设备工作环境。
• 功能特点
  • 动作响应迅速，精准控制介质通断与流量，保障工艺参数稳定。
  • 具备位置反馈功能，实时反馈阀门开关状态，为控制系统提供信号。
  • 采用耐腐蚀密封材料，使用寿命长，维护频率低。
  • 结构紧凑，安装空间小，适配设备内部管路布局。
• 应用场景：应用于应用材料半导体设备的气体输送系统、冷却系统等，控制工艺气体、冷却剂等介质的通断与流量，适配 CVD、刻蚀、PVD 等各类半导体工艺设备。