• 产品名称：石英窗口组件（Quartz Window Assembly）
• 产品简介：是应用材料半导体设备反应腔的关键部件，用于腔体的真空密封与工艺观察，适配特定型号的反应腔，由高纯石英材料制成，具备优良的透光性与真空密封性能，保障工艺过程的可视化与腔体真空环境稳定。
• 技术规格
  • 材质：高纯石英，纯度 99.999%，减少杂质污染。
  • 尺寸：直径 200mm，厚度 15mm，适配反应腔窗口尺寸。
  • 透光率：大于 95%，保障工艺过程的清晰观察。
  • 真空泄漏率：小于 1×10^-9 mbar・L/s，保障腔体高真空要求。
  • 耐高温温度：1000℃，适配半导体高温工艺环境。
• 功能特点
  • 具备优良的真空密封性能，保障腔体真空环境稳定。
  • 高透光率，便于操作人员观察工艺过程，及时发现异常。
  • 化学稳定性高，可抵御工艺环境中腐蚀性气体侵蚀。
  • 安装结构牢固，不易脱落，适配设备的振动环境。
• 应用场景：应用于应用材料的刻蚀、CVD、RTP 等半导体工艺设备的反应腔，实现腔体真空密封与工艺观察，保障工艺过程的顺利进行与安全。