• 产品名称：设备电源分配单元（Power Distribution Unit, PDU）
• 产品简介：是应用材料半导体设备的核心供电部件，用于将外部电源分配至设备各子系统与部件，具备过载保护、电压监测等功能，适配特定型号的半导体设备，保障设备各部件供电的稳定与安全。
• 技术规格
  • 输入电压：380V AC，三相，适配工业供电标准。
  • 输出支路：12 路，可同时为 12 个设备部件供电。
  • 额定电流：每支路 30A，总额定电流 100A。
  • 保护等级：IP20，具备基础防尘与防触摸保护。
  • 工作温度：0-60℃，适配设备电气柜的工作环境。
• 功能特点
  • 具备过载、短路、过压等多种保护功能，快速切断故障支路电源，保障设备安全。
  • 配备数字显示面板，实时显示各支路电压、电流，便于操作人员监控。
  • 支持远程监控，可通过设备控制系统实时监测供电状态。
  • 模块化设计，便于安装、维修与扩展。
• 应用场景：应用于应用材料各类半导体工艺设备的电气系统，为射频电源、直流电源、控制系统等部件分配电源，保障设备整体供电的稳定与安全。