• 产品名称：射频匹配网络连接器（RF Match Network Connector）
• 产品简介：是应用材料半导体设备射频匹配系统的关键连接部件，用于射频匹配网络与其他射频部件的连接，保障射频信号的低损耗传输，适配特定型号的射频匹配网络，提升射频系统的稳定性与效率。
• 技术规格
  • 连接器类型：射频专用精密连接器，特性阻抗 50Ω，适配半导体射频系统标准。
  • 额定功率：15kW，满足高功率射频传输需求。
  • 工作频率：13.56MHz，适配半导体常用射频频段。
  • 插拔次数：大于 1000 次，使用寿命长。
  • 接触电阻：小于 0.001Ω，保障射频信号传输稳定。
• 功能特点
  • 低损耗设计，射频信号传输损耗小于 0.2dB，保障能量传输效率。
  • 屏蔽性能优良，屏蔽衰减大于 100dB，防止射频信号泄漏与外部干扰。
  • 具备防呆设计，避免安装错误，提升装配效率与安全性。
  • 采用耐高温、耐化学腐蚀材料，适配半导体设备的恶劣工作环境。
• 应用场景：应用于应用材料的刻蚀、PVD 等半导体工艺设备的射频匹配系统，连接射频匹配网络与射频电源、反应腔等部件，保障射频信号的稳定传输，提升工艺效率与质量。