• 产品名称：工艺气体节流阀组件（Process Gas Throttle Valve Assembly）
• 产品简介：是应用材料半导体设备气体输送系统的关键流量控制部件，用于精准调节工艺气体的流量大小，适配特定型号的气体管路系统，保障工艺过程中气体流量参数的稳定，适配刻蚀、CVD 等半导体工艺设备的高精度流量控制需求。
• 技术规格
  • 阀门类型：针型节流阀，适配口径 1/4 英寸，适配半导体设备标准管路。
  • 材质：阀体为 316L 不锈钢，密封件为 PTFE，耐腐蚀性能强。
  • 工作压力：0-10bar，适配工艺气体的输送压力范围。
  • 流量调节精度：±0.5% FS，保障流量控制的精准性。
  • 工作温度：-20℃ - 80℃，适配设备工作环境。
• 功能特点
  • 采用精密针型阀芯设计，可实现流量的连续微调，满足不同工艺的流量需求。
  • 具备流量反馈功能，实时反馈气体流量数据，为控制系统提供信号。
  • 密封性能优良，泄漏率小于 1×10^-9 mbar・L/s，保障气体输送的密封性。
  • 操作便捷，调节旋钮带有刻度标识，便于操作人员精准调节流量。
• 应用场景：应用于应用材料的刻蚀设备、CVD 设备、ALD 设备等半导体工艺设备的气体输送系统，精准调节工艺气体流量，保障晶圆加工工艺中气体参数的稳定，适配 200mm/300mm 晶圆工艺。