• 产品名称：冷却水管路接头组件（Cooling Water Pipe Fitting Assembly）
• 产品简介：是应用材料半导体设备冷却系统的关键连接部件，用于连接冷却水管路，保障冷却剂的稳定输送，适配特定型号的设备冷却系统，具备优良的密封性能，防止冷却剂泄漏，适配半导体设备的高温、高压冷却环境。
• 技术规格
  • 接头类型：VCR 精密接头，适配口径 1/2 英寸，适配半导体设备冷却管路标准。
  • 材质：316L 不锈钢，耐腐蚀性能强，适配冷却剂的输送环境。
  • 工作压力：0-10bar，可承受冷却系统的高压需求。
  • 工作温度：-20℃ - 120℃，适配冷却系统的温度范围。
  • 密封方式：金属垫片密封，泄漏率小于 1×10^-9 mbar・L/s。
• 功能特点
  • 采用 VCR 精密密封结构，密封性能优良，防止冷却剂泄漏，保障设备安全。
  • 接头具备防呆设计，避免安装错误，提升装配效率。
  • 具备耐高温、耐高压性能，适配半导体设备冷却系统的恶劣工作环境。
  • 安装便捷，可快速拆卸更换，减少设备停机时间。
• 应用场景：应用于应用材料的刻蚀设备、PVD 设备、射频电源等部件的冷却系统，连接冷却水管路，保障冷却剂的稳定输送，适配各类半导体工艺设备的冷却需求。