• 产品名称：气动隔膜泵组件（Pneumatic Diaphragm Pump Assembly）
• 产品简介：是应用材料半导体设备流体输送系统的关键部件，采用气动隔膜驱动方式，用于输送设备中的化学试剂、废液等流体介质，适配特定型号的流体管路系统，具备优良的耐腐蚀性能，保障流体输送的稳定与安全。
• 技术规格
  • 泵体材质：PTFE，耐腐蚀性能强，适配多种化学试剂与废液。
  • 驱动方式：气动驱动，工作压力 0.4-0.8MPa。
  • 流量：5L/min，满足设备流体输送需求。
  • 最大扬程：10m，适配设备内部的流体输送高度。
  • 工作温度：-10℃ - 60℃，适配设备工作环境。
• 功能特点
  • 采用气动隔膜驱动，无泄漏设计，保障流体输送的安全性，防止化学试剂泄漏。
  • 具备自吸能力，可快速启动输送流体，提升设备运行效率。
  • 结构简单，维护便捷，易损件少，使用寿命长。
  • 适配多种腐蚀性流体介质，适配半导体设备的各类流体输送需求。
• 应用场景：应用于应用材料半导体设备的化学试剂输送系统、废液处理系统等，输送刻蚀液、清洗液、废液等流体介质，适配半导体设备的各类工艺环节。