• 产品名称：设备电源模块（Power Supply Module）
• 产品简介：是应用材料半导体设备的核心供电部件，为设备的控制模块、传感器等提供稳定的直流电源，适配特定型号的设备电气系统，具备高效率、高稳定性的特点，保障设备各部件的供电稳定。
• 技术规格
  • 输入电压：380V AC，三相，适配工业供电标准。
  • 输出电压：直流 24V，输出电流：20A，功率 480W。
  • 电压调节精度：±0.1%，保障供电稳定。
  • 纹波系数：小于 0.1%，减少电压波动对设备部件的影响。
  • 工作温度：0-60℃，适配设备电气柜的工作环境。
• 功能特点
  • 具备过压、过流、过温、短路等多种保护功能，全面保护电源模块与设备部件。
  • 转换效率高，大于 90%，节能效果显著。
  • 支持远程监控，可通过设备控制系统实时监测电源模块的工作状态。
  • 模块化设计，安装与更换便捷，适配设备的维护需求。
• 应用场景：应用于应用材料各类半导体工艺设备的电气系统，为控制模块、传感器、执行器等部件提供稳定的直流电源，保障设备的稳定运行，适配刻蚀、CVD、PVD 等各类半导体工艺设备。