• 产品名称：同轴射频电缆组件（Coaxial RF Cable Assembly）
• 产品简介：是应用材料半导体设备射频传输系统的核心部件，适配特定型号的射频匹配网络与反应腔连接，用于 13.56MHz 等常用半导体射频频段信号的低损耗传输，保障射频能量稳定传递至工艺腔体，适配刻蚀、PVD 等高精度射频工艺设备。
• 技术规格
  • 电缆类型：低损耗同轴射频电缆，特性阻抗 50Ω，符合半导体射频系统标准。
  • 工作频率：1kHz - 1GHz，覆盖半导体主流射频应用频段。
  • 额定功率：10kW，满足高功率射频传输需求。
  • 长度：1.5m，适配设备内部射频部件安装距离。
  • 连接器类型：射频精密连接器，插拔次数≥1000 次，接触电阻＜0.001Ω。
• 功能特点
  • 射频信号传输损耗＜0.3dB/m，保障能量传输效率，减少功率浪费。
  • 屏蔽层采用多层编织结构，屏蔽衰减＞90dB，防止信号泄漏与外部电磁干扰。
  • 护套采用阻燃、耐化学腐蚀材料，适配半导体设备的恶劣工作环境。
  • 具备防扭转设计，安装后不易因振动导致连接松动，提升系统稳定性。
• 应用场景：应用于应用材料的刻蚀、PVD 等半导体工艺设备的射频传输系统，连接射频电源、匹配网络与反应腔，保障晶圆刻蚀、金属沉积等工艺中射频能量的稳定传递，适配 200mm/300mm 晶圆工艺设备。