• 产品名称：200mm 静电卡盘加热组件。
• 产品简介：是 AMAT 200mm 规格静电卡盘（ESC）专用加热组件，集成加热元件与温度传感器，用于为晶圆提供均匀、精准的加热环境，同时配合静电卡盘实现晶圆的吸附固定，适配 AMAT 200mm 晶圆刻蚀、沉积等工艺设备，是保障晶圆工艺温度均匀性的核心部件。
• 技术规格
  • 适配晶圆规格：200mm 晶圆。
  • 加热温度范围：50-600℃，满足不同半导体工艺的温度需求。
  • 温度均匀性：晶圆表面温度均匀性控制在 ±2℃以内。
  • 加热功率：适配加热需求，通常为 1-5kW。
  • 控温方式：PID 闭环控制，支持多区域独立控温。
• 功能特点
  • 多区域独立控温，可根据工艺需求精准调节晶圆不同区域温度，保障温度均匀性。
  • 加热响应速度快，能快速达到设定温度并保持稳定，提升工艺效率。
  • 与静电卡盘集成度高，安装便捷，密封性能适配真空环境。
  • 具备过温保护功能，防止因温度异常损坏晶圆与设备部件。
• 应用场景：用于 AMAT 200mm 规格刻蚀机、CVD 沉积设备等的工艺腔室，适配逻辑芯片、存储芯片等晶圆制造过程中的刻蚀、沉积等工艺，为晶圆提供稳定、均匀的加热环境，保障工艺质量与重复性。