产品名称：伺服运动控制模块产品简介：半导体晶圆传输、定位系统的核心控制单元，用于驱动伺服电机实现晶圆的精准移动、升降与定位，保障传输过程的高速、平稳与高精度，是自动化产线的关键控制部件。技术规格
- 控制轴数：支持多轴伺服联动控制
- 控制模式：位置 / 速度 / 力矩三环闭环控制
- 定位精度：重复定位精度≤±0.01mm
- 通信接口：EtherCAT/Profinet，高速实时通信
- 适配电机：兼容 AMAT 标准伺服电机，扭矩范围广功能特点
- 运动控制算法先进，轨迹平滑，无冲击
- 定位精准，响应速度快，提升设备产能
- 内置电机过载、过热、过流保护功能
- 抗干扰能力强，适配复杂工业环境
- 支持参数自整定，调试便捷，维护成本低应用场景
- 半导体晶圆传输机器人运动控制
- 工艺腔室晶圆升降、定位机构控制
- 晶圆检测、清洗设备自动化传输系统
- 先进制程半导体生产线自动化控制
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 