产品名称：设备电源分配管理模块产品简介：半导体设备的电源管理核心部件，负责将主电源分配至各子系统，集成过压、过流、短路保护与电源状态监控功能，保障设备各模块供电稳定，提升设备运行安全性。技术规格
- 输入电压：三相 380VAC / 单相 220VAC，宽范围适配
- 输出通道：多路直流 / 交流输出，电压规格齐全
- 保护功能：过压、过流、短路、欠压、过热保护
- 监控接口：支持电压、电流、温度实时监控与报警
- 防护等级：IP54，适配工业级设备环境功能特点
- 电源分配精准，输出电压纹波小
- 保护响应迅速，故障时快速切断输出，保护设备
- 具备电源状态实时反馈，便于设备状态监控
- 抗干扰能力强，适配复杂工业电磁环境
- 模块化设计，安装、维护、故障排查便捷应用场景
- 半导体工艺设备整机电源分配管理
- 刻蚀、沉积、传输设备子系统供电
- 晶圆厂自动化设备电源系统
- 设备电气系统升级与预防性维护
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 