产品名称：高精密气体质量流量控制器（MFC）产品简介：半导体工艺气体输送系统的核心控制部件，采用热式质量流量测量原理，实现工艺气体流量的精准控制与稳定输出，保障 CVD、刻蚀等工艺气体配比的一致性。技术规格
- 流量范围：标准量程 0–1000sccm，可定制
- 控制精度：±1% FS，重复精度 ±0.2% FS
- 响应时间：≤100ms，流量调节快速稳定
- 材质：316L 不锈钢流路，内表面电抛光
- 密封类型：VCR 面密封，无泄漏，适配高纯气体功能特点
- 流量控制线性度优异，输出稳定无波动
- 适配多种腐蚀性、易燃性高纯工艺气体
- 流路无死角设计，易吹扫，气体残留低
- 支持本地 / 远程双模式控制，适配自动化产线
- 具备超流量、超温、过压多重保护功能应用场景
- 半导体 CVD、ALD、刻蚀工艺气体控制
- 高纯特种气体（如 SiH₄、NH₃、CF₄）输送
- 晶圆厂工艺气体分配与精准配比系统
- 半导体设备气路系统升级与维护
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 