产品名称：真空计控制驱动模块产品简介：为半导体真空系统中真空计提供专用驱动与信号处理的单元，负责真空计供电、信号采集、放大与传输，保障真空度测量数据的精准性与稳定性，是真空监控系统的核心部件。技术规格
- 适配类型：兼容皮拉尼、冷阴极、热阴极等多种真空计
- 供电输出：稳定直流供电，电压纹波≤1%
- 信号处理：高精度信号放大、滤波，信噪比≥80dB
- 通信接口：RS485/DeviceNet，支持远程数据传输
- 工作环境：温度 0–50℃，湿度≤85% RH，无凝露功能特点
- 驱动稳定，保障真空计测量精度
- 信号处理能力强，数据输出无漂移、无失真
- 具备真空计故障诊断与报警功能
- 抗干扰能力强，适配复杂真空系统电磁环境
- 即插即用，与原厂真空计完全兼容，替换便捷应用场景
- 半导体工艺腔室真空度实时监测
- 真空排气系统、传输腔真空监控
- 沉积、刻蚀、离子注入设备真空测量
- 晶圆厂真空系统维护与故障排查
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 