产品名称：设备主控通信接口板卡产品简介：半导体设备控制系统的核心通信部件，负责设备主控单元与各子模块（如伺服、传感器、MFC）之间的数据传输与指令交互，保障设备各系统协同运行，是设备控制的中枢接口。技术规格
- 通信协议：兼容 Modbus、Profinet、EtherNet/IP 等
- 接口类型：多路 RS232/RS485、以太网接口
- 传输速率：高速传输，最大速率 100Mbps
- 工作温度：-10℃–60℃，适应工业环境
- 防护等级：板级防静电、防浪涌保护功能特点
- 多协议兼容，适配不同设备子系统
- 数据传输稳定，无丢包、无延迟
- 具备通信故障诊断与自动重连功能
- 抗干扰能力强，适配复杂工业电磁环境
- 即插即用，与原厂控制系统完全兼容应用场景
- 半导体工艺设备主控系统通信
- 设备各子模块数据交互与指令传输
- 晶圆厂设备自动化控制系统
- 设备控制系统升级与故障排查
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 