产品名称：射频信号采集监测模块产品简介：半导体射频等离子体设备的专用监测部件，实时采集射频电源的功率、频率、反射功率等关键参数，为工艺控制提供精准反馈，保障射频系统稳定运行，提升工艺均匀性。技术规格
- 监测参数：正向功率、反射功率、频率、电压、电流
- 频率范围：适配 13.56MHz/2MHz 标准射频频率
- 测量精度：功率测量精度 ±0.5% FS
- 输出信号：模拟 / 数字双输出，适配设备控制系统
- 通信接口：支持设备总线，实现远程监控功能特点
- 实时监测射频系统关键参数，数据精准可靠
- 反射功率监测灵敏，异常时快速报警
- 具备参数趋势分析功能，便于工艺优化
- 抗射频干扰能力强，监测信号无失真
- 模块化设计，安装、维护便捷应用场景
- 等离子体刻蚀、PECVD 设备射频系统监测
- 半导体射频电源与匹配网络状态监控
- 先进制程半导体制造工艺射频保障
- 设备射频系统维护与故障诊断
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 