产品名称：真空腔室压力传感器组件产品简介：半导体真空系统专用的高精度压力监测部件，实时采集工艺腔室、传输腔及真空管路的压力数据，为真空控制提供精准反馈，保障真空环境稳定，是真空系统的核心监测单元。技术规格
- 测量范围：覆盖高真空至中真空全区间，适配半导体工艺压力需求
- 测量精度：全量程测量误差≤±0.5% FS，长期稳定性优异
- 传感器类型：电容式 / 压阻式，抗干扰能力强
- 输出信号：标准 4–20mA 模拟信号 + 数字信号，兼容设备控制系统
- 工作环境：耐受高真空、腐蚀性工艺气体，温度范围 - 10℃–60℃功能特点
- 压力测量精准，响应速度快，实时捕捉压力变化
- 抗化学腐蚀，适配多种工艺气体环境
- 密封性能可靠，无真空泄漏风险
- 具备自校准与故障诊断功能，异常状态自动报警
- 模块化设计，安装便捷，与原厂真空系统完全兼容应用场景
- 半导体工艺腔室真空压力实时监测
- 真空传输系统、排气系统压力监控
- 沉积、刻蚀、离子注入设备真空控制
- 晶圆厂真空系统维护与故障排查
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 