产品名称：射频匹配网络控制模块产品简介：半导体射频等离子体设备的核心控制部件，负责射频电源与负载（等离子体腔）之间的阻抗匹配调节，保障射频能量高效传输，提升工艺均匀性与稳定性。技术规格
- 适配频率：13.56MHz/2MHz 标准射频频率
- 匹配范围：宽范围阻抗匹配，适配不同工艺负载
- 调节速度：快速动态调节，响应时间≤10ms
- 控制方式：自动闭环控制 + 手动调节双模式
- 通信接口：支持设备总线，实现远程监控与参数设置功能特点
- 阻抗匹配精准，射频能量传输效率≥95%
- 动态响应快，适应工艺负载快速变化
- 具备反射功率保护，异常时快速切断射频输出
- 抗射频干扰能力强，运行稳定无漂移
- 集成度高，简化射频系统布线与调试应用场景
- 等离子体刻蚀、PECVD 设备射频匹配控制
- 半导体射频电源系统核心部件
- 先进制程半导体制造工艺
- 设备射频系统升级与故障替换
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 