产品名称：设备 I/O 信号接口板卡产品简介：半导体设备控制系统的信号交互核心部件，负责采集设备传感器、执行机构的输入信号，并输出控制指令，实现设备各系统间的信号传输与联动控制。技术规格
- 输入通道：多路数字 / 模拟输入通道，兼容 NPN/PNP 信号
- 输出通道：多路继电器 / 晶体管输出通道，驱动能力强
- 信号隔离：光电隔离，抗干扰能力强，保障信号稳定
- 通信接口：RS485/Modbus，支持远程信号传输
- 工作温度：-20℃–70℃，适应工业级环境功能特点
- 信号采集精准，无失真、无延迟
- 输出驱动稳定，适配多种执行机构
- 信号隔离可靠，避免系统间干扰
- 具备短路、过流保护功能，保障板卡安全
- 即插即用，与原厂控制系统完全兼容应用场景
- 半导体工艺设备传感器信号采集
- 设备执行机构控制指令输出
- 晶圆厂自动化设备信号交互系统
- 设备控制系统升级与故障排查
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 