产品名称：气体管路压力调节阀总成产品简介：半导体工艺气体输送系统的压力调节部件，精准控制工艺气体输送压力，保障气体流量稳定，适配不同工艺对气体压力的严苛要求。技术规格
- 调节范围：宽范围压力调节，适配多种工艺气体
- 调节精度：压力调节误差≤±0.5% FS
- 材质：316L 不锈钢 / 高纯 PFA，耐腐蚀
- 接口类型：VCR 面密封，无泄漏
- 响应时间：压力调节响应≤100ms，快速稳定功能特点
- 压力调节精准，输出稳定无波动
- 流阻小，气体输送压力损失低
- 耐腐蚀，适配多种腐蚀性工艺气体
- 密封性能可靠，无气体泄漏风险
- 支持远程自动调节，适配自动化产线应用场景
- 半导体 CVD、ALD、刻蚀工艺气体压力控制
- 高纯特种气体输送系统压力调节
- 晶圆厂工艺气体分配系统
- 半导体设备气路系统维护升级
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 