产品名称：高纯工艺气体输送管路总成产品简介：半导体工艺气体输送系统的专用管路组件，采用高洁净、耐腐蚀材质，用于稳定输送各类高纯工艺气体，保障气体输送过程无泄漏、无污染，是 CVD、刻蚀等工艺气路的核心部件。技术规格
- 材质：316L 不锈钢 / 高纯 PFA，内表面电抛光，粗糙度 Ra≤0.1μm
- 管径规格：1/4"、3/8" 标准外径，适配主流工艺气路
- 接口类型：VCR/VCO 面密封，无泄漏设计
- 洁净等级：Class 100 洁净室适用，无颗粒析出
- 耐压性能：耐受≥1.0MPa 气体压力，安全可靠功能特点
- 气体输送稳定，无压力波动、无流量衰减
- 耐腐蚀，适配 SiH₄、NH₃、CF₄等多种腐蚀性工艺气体
- 流路无死角，易吹扫、低气体残留，避免交叉污染
- 密封性能优异，长期使用无泄漏风险
- 与原厂气路系统完全兼容，安装便捷应用场景
- 半导体 CVD、ALD、刻蚀工艺气体输送
- 高纯特种气体（如 H₂、Ar、N₂）分配系统
- 晶圆厂工艺气体集中供应管路
- 设备气路系统升级与预防性维护
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 