产品名称：伺服电机驱动控制板卡产品简介：半导体自动化设备伺服系统的核心控制部件，负责接收主控指令并驱动伺服电机，实现晶圆传输、定位等动作的精准控制，保障设备运动系统高速、稳定运行。技术规格
- 控制轴数：支持单 / 多轴伺服电机驱动
- 控制模式：位置 / 速度 / 力矩三环闭环控制
- 输出电流：适配 0.5–10A 伺服电机，功率范围广
- 通信接口：EtherCAT/Profinet，高速实时通信
- 工作温度：-10℃–60℃，适应工业级环境功能特点
- 运动控制精准，重复定位精度≤±0.01mm
- 响应速度快，动态性能优异，提升设备产能
- 内置电机过载、过热、过流多重保护
- 抗电磁干扰能力强，适配复杂工业环境
- 支持参数自整定，调试便捷，维护成本低应用场景
- 半导体晶圆传输机器人伺服驱动
- 工艺腔室晶圆升降、定位机构控制
- 晶圆检测、清洗设备自动化系统
- 先进制程半导体生产线伺服控制
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 