产品名称：设备主控 CPU 处理模块产品简介：半导体设备控制系统的核心运算单元，集成高性能处理器与大容量存储，负责设备逻辑运算、数据处理与指令分发，是设备自动化运行的 “大脑”。技术规格
- 处理器：高性能工业级 CPU，主频≥800MHz
- 存储容量：16MB SDRAM+32MB Flash，满足程序与数据存储
- 输入电压：24VDC，冗余供电设计，稳定可靠
- 通信接口：多路 RS232/RS485、以太网接口
- 防护等级：板级防静电、防浪涌保护功能特点
- 运算速度快，数据处理能力强，保障设备实时控制
- 存储容量大，支持复杂控制程序与历史数据存储
- 通信接口丰富，适配多子系统数据交互
- 具备故障自诊断与系统重启功能，稳定性高
- 模块化设计，便于升级与故障替换应用场景
- 半导体工艺设备整机控制系统
- 刻蚀、沉积、传输设备主控单元
- 晶圆厂自动化设备中央控制
- 设备控制系统升级与故障排查
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 