产品名称：设备 I/O 扩展控制模块产品简介：半导体设备控制系统的 I/O 信号扩展部件，用于增加设备数字 / 模拟信号输入输出通道，满足复杂设备多传感器、多执行机构的信号交互需求。技术规格
- 输入通道：32 路数字输入，兼容 NPN/PNP 信号
- 输出通道：32 路数字输出，继电器 / 晶体管双类型
- 信号隔离：光电隔离，抗干扰能力强
- 通信接口：Modbus/DeviceNet，支持远程扩展
- 工作环境：温度 0–50℃，湿度≤85% RH，无凝露功能特点
- 通道数量充足，满足复杂设备信号扩展需求
- 信号隔离可靠，避免系统间干扰
- 输入输出响应速度快，无延迟、无失真
- 具备短路、过流保护功能，保障模块安全
- 即插即用，与原厂控制系统完全兼容应用场景
- 半导体设备传感器信号采集扩展
- 设备执行机构控制指令输出扩展
- 晶圆厂自动化设备信号交互系统
- 设备控制系统升级与改造
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 