产品名称：AMAT 0720-05235 气体面板控制 PCB 组件产品简介：应用材料半导体设备专用气体管路控制电路板，负责工艺气体的流量调节、通断控制与状态监测，是气体输送系统的核心控制部件。技术规格
- 类型：8 通道气体控制 PCB，集成数字 I/O 与模拟量采集
- 供电：24V DC，冗余输入，功耗≤20W
- 控制精度：气体流量调节分辨率 0.1%，通断响应时间 < 50ms
- 通信接口：DeviceNet、RS485、以太网，支持 AMAT 设备总线协议
- 防护：PCB 表面三防涂层，适配无尘室低腐蚀环境功能特点
- 多通道独立控制：8 路气体通道并行控制，互不干扰
- 实时监测：集成压力、流量、温度传感器接口，实时反馈气体状态
- 安全联锁：支持过压、欠压、流量异常自动切断，保障工艺安全
- 兼容适配：匹配 AMAT Centura、Endura 等主流设备气体系统应用场景：半导体 CVD、PVD、刻蚀设备的工艺气体控制、特种气体输送系统、晶圆清洗设备气体管路控制。
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 