产品名称：晶圆传输定位支撑块组件产品简介：半导体晶圆传输系统专用高精度定位支撑部件，用于晶圆在传输、暂存、定位过程中的稳定支撑与精准定位，保障晶圆无损伤、无偏移传输。技术规格
- 材质：高纯聚醚醚酮（PEEK）+ 陶瓷复合材质
- 尺寸：长 40mm、宽 20mm、高 15mm，定位槽精度 ±0.005mm
- 表面粗糙度：Ra≤0.02μm，无毛刺、无颗粒
- 承重：静态承重≥10N，动态承重≥5N
- 适配：200mm/300mm 晶圆，兼容 AMAT 标准传输轨道功能特点
- 高精度定位：定位槽与晶圆边缘精准契合，定位误差≤0.01mm
- 无损伤支撑：柔性复合材质，避免晶圆边缘划伤、崩边
- 高洁净度：低挥发、低颗粒释放，满足 Class 10 无尘室标准
- 耐磨损：长期使用无变形、无磨损碎屑，使用寿命≥5000 小时
- 易安装：标准化尺寸，卡扣式安装，无需工具快速更换应用场景：半导体晶圆传输机器人末端定位、晶圆暂存台支撑、刻蚀 / 沉积设备晶圆加载定位、自动化产线晶圆传输系统。
AMAT 1037-60969 
AMAT 0050-37273 
AMAT 0010-01231 
AMAT 0140-01620 