产品名称：射频电源信号采集模块产品简介：半导体射频工艺设备专用信号采集单元，用于实时采集射频电源的电压、电流、功率、频率等参数，实现工艺过程的精准监测与闭环控制。技术规格
- 采集通道：4 路模拟量采集（电压、电流、正向功率、反射功率）
- 测量范围：电压 0~10kV、电流 0~50A、功率 0~10kW、频率 13.56MHz±1%
- 采集精度：±0.2% FS，采样频率 10kHz
- 通信接口：RS485、DeviceNet、以太网，支持 AMAT 设备总线协议
- 供电：24V DC，功耗≤10W，工作温度 0~50℃功能特点
- 多参数同步采集：实时采集射频全参数，数据同步性≤1μs
- 高抗干扰：工业级 EMC 设计，耐受射频干扰，数据稳定无漂移
- 闭环控制：实时反馈数据至主控系统，实现射频功率自动调节
- 故障诊断：支持过压、过流、失配报警，快速定位工艺异常
- 兼容适配：匹配 AMAT 13.56MHz 射频电源，兼容 Centura、Endura 系列设备应用场景：半导体干法刻蚀设备射频监测、PECVD 设备射频工艺控制、射频等离子体清洗设备、半导体先进制程射频系统监控。
AMAT 1037-60969 
AMAT 0050-37273 
AMAT 0010-01231 
AMAT 0140-01620 