产品名称：真空腔体温度控制传感器组件产品简介：半导体超高真空腔体专用高精度温度传感器，集成测温、信号转换、校准功能，用于腔体内部温度实时监测与精准控制，保障工艺温度稳定性。技术规格
- 传感器类型：PT1000 铂电阻，精度 A 级
- 测温范围：-50℃~800℃，分辨率 0.1℃
- 响应时间：≤50ms，温度漂移≤±0.05℃/ 年
- 密封形式：金属密封，真空漏率≤1×10⁻⁹ Torr・L/s
- 安装：法兰式安装，适配 300mm 腔体，深度可调功能特点
- 超高精度：A 级铂电阻，测温误差≤±0.1℃，满足精密制程要求
- 真空兼容：金属密封设计，适配超高真空环境，无挥发污染
- 快速响应：实时捕捉温度变化，保障控温系统及时调节
- 长期稳定：低漂移、抗老化，使用寿命≥3 年，无需频繁校准
- 信号隔离：模拟量输出（4~20mA/0~10V），抗干扰能力强应用场景：半导体 CVD/ALD 腔体温度监测、晶圆退火设备温控、真空热处理腔体、超高真空半导体制程设备温度控制。
AMAT 1037-60969 
AMAT 0050-37273 
AMAT 0010-01231 
AMAT 0140-01620 