产品名称：温度信号采集处理板产品简介：腔体、基座、喷淋头专用多路温度采集控制板，实现高精度测温、信号放大与闭环控温输出。技术规格
- 通道：8 路 PT100/PT1000
- 精度：±0.1℃
- 分辨率：0.01℃
- 输出：4 路 0~10V 模拟量
- 通信：RS485、以太网
- 采样周期：100ms功能特点
- 高精度采集，长期漂移小
- 抗射频干扰，适配等离子体环境
- 闭环控温响应快、稳定性高
- 自带校准与故障诊断
- 工业级设计，连续运行稳定应用场景：腔体温度控制；静电卡盘温控；喷淋头 / 加热器温控；CVD、ALD、PVD 设备温控系统。
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 