产品名称：气体管路流量调节组件产品简介：超高纯工艺气路专用流量调节部件，用于稳定控制工艺气体流量，保证气路无泄漏、无脉动、无污染。技术规格
- 适用管径：1/4"、3/8"
- 耐压：0~20bar
- 漏率：≤1×10⁻⁹ Torr・L/s
- 材质：316L EP 不锈钢
- 适用气体：惰性气体、腐蚀性工艺气体功能特点
- 流量调节平稳无脉动
- 超高洁净，无颗粒释放
- 耐腐蚀，适配多种工艺气体
- 金属面密封，零泄漏
- 结构紧凑，适配狭小空间安装应用场景：MFC 前端气路调节；CVD/ALD 工艺气体控制；刻蚀气体输送系统；超高纯气体分配单元。
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 