产品名称：高纯陶瓷绝缘环产品简介：腔体电极 / 静电卡盘专用高压绝缘环，提供电气隔离、热稳定与等离子体防护，保证制程绝缘安全。技术规格
- 材质：高纯氧化铝 / 氮化硼复合陶瓷
- 耐压：AC 10kV，DC 15kV
- 耐温：最高 850℃
- 平面度：≤0.01mm
- 绝缘电阻：≥10¹⁴Ω・cm功能特点
- 高压绝缘可靠，无击穿
- 耐高温、抗热冲击
- 耐等离子体腐蚀，寿命长
- 低杂质释放，不污染晶圆
- 尺寸精准，安装同轴应用场景：静电卡盘绝缘；电极高压隔离；刻蚀 / PECVD 腔体绝缘；射频等离子体环境绝缘防护。
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AMAT 0200-11342
2026-02-12 14:55 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0200-11342
品牌AMAT
型号0200-11342
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