产品名称：设备安全联锁控制模块产品简介：半导体设备核心安全控制单元，负责门开关、真空连锁、急停、温度 / 压力异常监控，保障人机与设备安全。技术规格
- 输入：16 路安全数字量输入
- 输出：8 路安全继电器输出
- 响应时间：≤10ms
- 安全等级：PLd/SIL2
- 通信：安全 I/O、DeviceNet
- 工作电压：24V DC功能特点
- 多通道独立安全监测
- 毫秒级急停响应
- 故障锁定与状态记忆
- 抗干扰强，稳定可靠
- 符合半导体设备安全标准应用场景：刻蚀 / 沉积设备安全系统；真空腔体门联锁；传输舱安全保护；整线设备安全逻辑控制。
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 