产品名称：晶圆升降顶针组件产品简介：腔体内部晶圆升降机构专用顶针部件，用于晶圆顶升、支撑与定位，保证升降平稳同轴、无颗粒、无划伤。技术规格
- 材质：高纯氧化锆陶瓷
- 直径：3mm
- 表面粗糙度：Ra≤0.02μm
- 硬度：≥HRA90
- 耐高温：400℃
- 同轴度：≤0.005mm功能特点
- 超高耐磨，长期运行无间隙
- 低摩擦、升降顺畅无卡滞
- 无金属析出，超高洁净度
- 耐高温不变形、不脆裂
- 模块化设计，更换快速应用场景：刻蚀、CVD、PVD 腔体晶圆升降；退火设备顶针机构；真空环境晶圆支撑定位。
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AMAT 0240-76625
2026-02-12 14:53 已有人浏览 小编
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品牌AMAT
型号0240-76625
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