产品名称：射频信号采集调理模块产品简介：射频工艺系统专用信号处理单元，用于正向功率、反射功率、阻抗信号采集与滤波调理，保障射频匹配稳定。技术规格
- 适配频率：13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz
- 测量范围：0~5kW 正向功率，0~500W 反射功率
- 精度：±0.5%
- 输出：0~10V 模拟量、数字 I/O
- 防护等级：工业级 EMC 抗干扰功能特点
- 实时采集射频状态，响应快速
- 高抗干扰，适配强射频环境
- 信号滤波纯净，无漂移抖动
- 支持反射功率超限保护
- 兼容主流射频电源与匹配器应用场景：干法刻蚀射频系统；PECVD 射频功率监控；等离子体清洗设备；射频工艺闭环控制。
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 