产品名称：真空压力采集控制模块产品简介：超高真空腔体专用压力监测与控制组件，实现全量程真空度采集、闭环调节与连锁保护，保障腔体真空稳定。技术规格
- 测量量程：10⁻⁹ Torr~10³ Torr
- 测量精度：±0.25% FS
- 输出信号：4~20mA、0~10V、数字量
- 密封等级：金属密封，漏率≤1×10⁻¹⁰ Torr・L/s
- 响应时间：≤50ms功能特点
- 宽量程覆盖，高低真空通用
- 长期稳定，低漂移、免频繁校准
- 多重保护：过压、反接、过载保护
- 支持远程监控与数据上传
- 洁净无挥发，满足半导体无尘要求应用场景：刻蚀 / 沉积腔体真空监控；真空传输系统压力控制；涡轮分子泵真空系统；先进制程超高真空环境。
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 