产品名称：射频功率传输线缆组件产品简介：半导体设备射频系统专用低损耗传输线缆，连接射频电源与匹配网络 / 腔体，保障射频功率高效稳定传输。技术规格
- 适配频率：13.56MHz/27MHz/60MHz
- 功率承载：中高功率射频传输
- 阻抗：50Ω 标准阻抗
- 材质：高纯度铜芯 + 聚四氟乙烯绝缘 + 不锈钢屏蔽
- 插入损耗：≤0.1dB/m
- 接头类型：N 型 / 7/16" DIN 标准射频接头功能特点
- 射频传输效率高，功率损耗极低
- 屏蔽性能优异，无电磁干扰
- 耐温、耐化学腐蚀、抗老化
- 接头连接可靠，接触电阻稳定应用场景：ICP/RIE 刻蚀设备射频传输、PECVD 射频电源连接、等离子体清洗设备射频布线、射频匹配网络与腔体连接。
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 