产品名称：高纯工艺气动隔膜阀产品简介：半导体高纯气体 / 液体管路专用气动隔膜阀，实现工艺介质的快速通断与零泄漏控制，适配强腐蚀、高洁净工况。技术规格
- 阀体材质：316L EP 级不锈钢
- 隔膜材质：PFA + 全氟醚复合
- 通径规格：1/4 英寸
- 驱动方式：气动执行（单作用 / 双作用）
- 适用压力：真空～2.0MPa
- 工作温度：-20℃～150℃功能特点
- 零死体积，无介质残留
- 密封可靠，零泄漏，寿命≥100 万次
- 耐强腐蚀工艺介质
- 开关速度快，适配高频动作场景应用场景：刻蚀工艺气体控制、CVD 前驱体输送、高纯化学品管路、真空 / 压力切换系统、半导体厂气路分配单元。
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 