产品名称：腔体加热测温一体化模块产品简介：集成加热与温度检测功能的精密模块，为半导体腔体提供均匀加热与实时温度监控，保障制程温度稳定。技术规格
- 加热功率：定制化功率输出
- 控温范围：室温～500℃
- 控温精度：±0.5℃
- 测温元件：高精度铂电阻（Pt100）
- 材质：陶瓷绝缘 + 不锈钢外壳
- 防护等级：IP65（设备内部使用）功能特点
- 加热均匀，温度分布误差≤±1%
- 测温精准，响应速度快
- 绝缘可靠，无漏电、无干扰
- 一体化设计，安装维护简便应用场景：腔体预热与温度维持、薄膜沉积温度控制、刻蚀腔体温度补偿、真空设备热稳定系统。
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 