产品名称：高精度气体质量流量控制器（MFC）产品简介：半导体工艺专用数字式质量流量控制器，实现高纯工艺气体的精准计量与稳定控制，保障制程气体配比精度。技术规格
- 测量介质：N₂、O₂、Ar、SiH₄、NH₃、CF₄等高纯气体
- 流量范围：标准量程（可定制）
- 控制精度：±0.5% F.S.
- 响应时间：≤100ms
- 材质：316L EP 不锈钢阀体 + 全氟醚密封
- 通信接口：DeviceNet/Profibus/ 模拟量功能特点
- 流量控制精准，长期稳定性优异
- 数字校准，免维护周期长
- 抗腐蚀、无泄漏、低残留
- 支持远程监控与参数调整应用场景：CVD/PVD/ALD 工艺气体控制、刻蚀机气体配比、外延生长气体流量调节、半导体厂高纯气体分配系统。
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 