产品名称：RTP 快速热处理卤素加热灯简介：半导体 RTP 快速热处理设备专用高功率卤素加热灯，提供瞬时高温与均匀热辐射，实现晶圆快速退火与热处理。技术规格
- 额定电压：82V
- 额定功率：500W
- 色温：3200K
- 寿命：≥2000 小时
- 发光形式：点光源 / 线光源
- 适配腔体：RTP 快速热处理腔体功能特点
- 热响应速度极快，升温速率≥100℃/s
- 热辐射均匀，晶圆温度一致性优异
- 高亮度、高效率，能耗低
- 长寿命设计，减少维护频次应用场景：晶圆快速退火（RTA）、离子注入后退火、薄膜热处理、半导体先进制程热加工。
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 