产品名称：高纯气体过滤器组件产品简介：半导体工艺气体专用超高精度过滤器，用于去除气体中的颗粒、杂质与金属污染物，保障进入腔体的工艺气体达到超高洁净等级。技术规格
- 过滤精度：0.003μm
- 过滤效率：≥99.9999%
- 材质：316L EP 不锈钢壳体 + PFA 滤芯
- 适用压力：真空～0.6MPa
- 工作温度：-10℃～80℃
- 接口规格：1/4 英寸 VCR
- 洁净等级：SEMI C12 级功能特点
- 超高精度过滤，彻底去除微颗粒与污染物
- 流阻小，气体输送效率高
- 耐化学腐蚀，适配多种高纯工艺气体
- 无释放、无析出，不污染气体
- 一体式结构，安装更换简便应用场景：刻蚀 / 沉积 / 外延工艺气体净化、特种电子气体输送、半导体厂大宗气体系统、晶圆制程前端气路净化。
AMAT QS-100NP-MP 
AMAT 0020-26158 
AMAT 0200-09768 