产品名称：水冷散热管路组件产品简介：半导体设备射频电源、匹配网络、腔体加热区专用水冷散热管路，实现大功率部件高效冷却，维持设备工作温度稳定，防止过热故障。技术规格
- 管路材质：316L 不锈钢
- 通径规格：6mm/8mm/10mm
- 工作压力：≤1.0MPa
- 工作温度：5℃～60℃
- 密封形式：VCR 金属面密封
- 流速范围：1～5L/min
- 耐腐蚀：去离子水 + 乙二醇混合冷却液功能特点
- 流道光滑，无阻力、无结垢
- 密封可靠，长期使用无泄漏
- 导热性能好，散热效率高
- 耐腐蚀性强，适配去离子水冷系统
- 柔性布局，适配设备内部复杂空间应用场景：射频电源 / 匹配网络水冷、腔体加热模块冷却、激光 / 等离子体源散热、设备大功率元件温控系统。
AMAT QS-100NP-MP 
AMAT 0020-26158 
AMAT 0200-09768 