产品名称：高纯工艺气体质量流量控制器（MFC）产品简介：半导体工艺气路专用高精度质量流量控制器，实现工艺气体流量的精准测量与闭环控制，保障气体输送流量稳定，提升制程重复性。技术规格
- 流量范围：0–500sccm（标准）
- 控制精度：±0.5% F.S.
- 响应时间：≤200ms
- 阀体材质：316L EP 级不锈钢
- 密封材质：FFKM 全氟醚
- 适用介质：高纯惰性气体、腐蚀性工艺气体
- 泄漏率：≤1×10⁻⁹ atm・cc/s He功能特点
- 流量控制精准稳定，无脉动、无超调
- 耐强腐蚀，适配多种危险工艺介质
- 零泄漏设计，长期运行可靠性高
- 支持远程校准与故障诊断
- 与 AMAT 气路控制系统完美匹配应用场景：CVD/PVD/ 刻蚀设备气路控制、特种气体输送、半导体厂集中供气系统、外延工艺气体流量控制。
AMAT QS-100NP-MP 
AMAT 0020-26158 
AMAT 0200-09768 