产品名称:设备维护校准专用工装组件产品简介:半导体设备原厂校准、检修、定位专用工装,用于设备精度恢复与维护。技术规格
- 材质:航空铝合金 / 不锈钢
- 定位精度:≤0.005mm
- 适配机型:AMAT 标准化制程设备
- 表面处理:硬质阳极氧化 / 钝化功能特点
- 原厂标准尺寸,保证校准精度
- 高强度耐磨,重复使用不变形
- 专用定位结构,快速安装定位
- 降低维护调试难度与时间应用场景
- 半导体设备年度维护、精度校准
- 腔体部件更换、机械手位置校正
- 设备工艺调试与良率优化
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分类Amat
产品AMAT MA-14639
品牌AMAT
型号MA-14639
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