产品名称：腔体气体喷淋头组件产品简介：工艺气体均匀分布喷淋部件，保证气体在晶圆表面均匀覆盖。技术规格
- 材质：高纯铝合金 / 陶瓷涂层
- 孔径：精密微孔阵列
- 均匀性：气体分布误差≤±2%
- 适配：标准 200mm/300mm 腔体功能特点
- 气体均匀分布，提升工艺均匀性
- 防堵塞结构，易清洁维护
- 耐腐蚀、耐温，适配多种工艺气体
- 降低膜厚不均与缺陷率应用场景
- CVD、ALD 薄膜沉积工艺
- 半导体晶圆表面成膜设备
- 先进逻辑、功率器件制程
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AMAT 0050-86911
2026-02-26 16:46 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0050-86911
品牌AMAT
型号0050-86911
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