产品名称：静电卡盘高压电源模块产品简介：为静电卡盘（ESC）提供高压直流电源，实现晶圆的静电吸附与稳定定位。技术规格
- 输出电压：0～5kV DC 可调
- 输出电流：≤10mA
- 纹波系数：≤0.1%
- 控制方式：0～10V 模拟控制
- 保护功能：过压、过流、短路保护
- 通信接口：RS232 / 模拟量功能特点
- 高压输出稳定，无漂移、无噪声
- 快速响应，吸附 / 释放时间≤100ms
- 多重安全保护，保障设备与晶圆安全
- 支持远程监控与参数调节
- 适配多种规格静电卡盘应用场景
- PVD、CVD、Etch 设备静电卡盘系统
- 晶圆高压吸附定位工艺
- 先进半导体制程腔体内部件
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 